微波光氧催化技术就是在工业废气处理紫外光的作用下发生了化学反应。大自然中常见光化学反应需要空气中的分子吸收特定波长的电磁辐射激产生分子激发态，然后发生化学反应生成了新的物质或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量而紫外光则是利用特制的紫外线光束照射有机废气VOC，例如说裂解苯、甲苯、二甲苯等的分子键使之成为游离状态的污染物分子。同时在微波光氧催化技术的紫外线光束的照射下分解空气中的氧分子产生游离氧，再由其与氧分子结合进而产生臭氧。

　　作为高氧化剂的臭氧能够对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的清除效果， 工业废气处理。并且通过纳米催化床能够将多种催化剂共同作用从而对有机废气进行一个无害化的转化，转化的产物为二氧化碳和水，整个过程中能够有效地减少污染物的危害性。