工业废气处理的解决法宝——微波光氧催化设备的原理是在高能紫外线C波光的照射下，臭气中的被分解产生游离氧，游离氧携带正负电荷不平衡，需以结合生成，携带正电荷的游离氧本身也具有极强的氧化性。

在工业废气处理的高能紫外线C波光的照射、氧化、氧离子自由基的联合作用下，将无机或有机高分子恶臭物质转变为无毒无害的低分子物质，比如H20、co2等物质，同时还具有杀菌功能。该法对臭气的有立竿见影的消除效果。